尼康NSRS636EArF浸入式扫描仪正在开发中将于2023年发布

  发布时间:2024-05-12 19:10:00   作者:玩站小弟   我要评论
尼康NSRS636EArF浸入式扫描仪正在开发中将于2023年发布2021-10-19 15:47:30封阅元导读尼康NSR-S636EArF浸入式扫描仪尼康本周宣布开发其新型NSR-S636EArF 。

尼康NSRS636EArF浸入式扫描仪正在开发中将于2023年发布

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下一代NSR-S636EArF浸入式扫描仪目前正在开发中,发中将提供卓越的尼康年叠加精度和超高吞吐量,以支持最关键的浸入将于半导体器件的制造,预计将于2023年某个时候开始销售。式扫NSR-S636EArF浸入式扫描仪。

“随着数字化转型(DX)的加速,迫切需要非常快速地处理和传达大量数据。高性能半导体对于满足这些要求势在必行,半导体器件技术也在不断发展,同时关注电路图案的小型化和3D(3D)器件结构的开发。”

“NSR-S636E具有增强的在线对准站(iAS),它是集成在涂布机/显影单元和光刻扫描仪之间的晶片预测量模块。S636E和iAS利用复杂的多点对准测量和高阶校正功能,使设备制造商能够实现3D设备结构所需的严格叠加精度,同时最大限度地提高浸入式扫描仪的生产力。NSR-S636E非常适合尖端半导体制造,包括逻辑和存储设备、CMOS图像传感器应用等。”

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